世界上最頂尖的光刻機(jī),一臺賣到6億元
現(xiàn)在微電子集成電路技術(shù)對世界的各種科技電子產(chǎn)品越來越應(yīng)用廣泛了,一個國家的發(fā)展越來越離不開高端芯片了,光刻機(jī)就是制造芯片的機(jī)器設(shè)備,沒有光刻機(jī)芯片是沒法生產(chǎn)出來的,所以光刻機(jī)對于芯片制造業(yè)到底有多重要大家都知道。對于這么尖端的技術(shù),按理來說那些芯片強(qiáng)國應(yīng)該是光刻機(jī)的制造強(qiáng)國才對,但讓大家感到意外的是,目前世界上最好的光刻機(jī)不是來自美國,韓國,英國、日本等這些芯片強(qiáng)國,而是來自荷蘭。
光刻機(jī)技術(shù)哪家強(qiáng)?
光刻機(jī)是生產(chǎn)大規(guī)模集成電路的核心設(shè)備,是制造和維護(hù)光學(xué)和電子工業(yè)的基礎(chǔ)。光刻機(jī)技術(shù)目前是世界上最尖端的技術(shù)之一,只有少量國家掌握,所以光刻機(jī)的價格是非常昂貴的,世界上頂級光刻機(jī)就是荷蘭生產(chǎn)組裝的光刻機(jī),一臺高端的光刻機(jī)甚至可以賣到6億元左右(目前全球最貴的EUV光刻機(jī)單臺售價已經(jīng)超過6.3億元),即便賣這么貴還供不應(yīng)求,很多訂單都需要排隊生產(chǎn),甚至有部分國家給再多的錢也買不到。
世界上最頂尖的光刻機(jī)
現(xiàn)在世界上最先進(jìn)的光刻機(jī)是荷蘭的ASML,其次就是日本的NIKON和日本的CANON,這三個品牌是世界上最好的了,荷蘭的最好,因為荷蘭的是各國高科技的合成產(chǎn)品,最主要的光源和鏡頭來自德國,荷蘭的光刻機(jī)90%的零配件是全世界采購,一臺光刻機(jī)的配件超過五萬的零件,90%的配件來自全世界,也就是說約四萬五千個零件來自世界各地。
目前在全球45納米以下高端光刻機(jī)市場當(dāng)中,荷蘭ASML市場占有率達(dá)到80%以上,而且目前ASML是全球唯一能夠達(dá)到7納米精度光刻機(jī)的提供商,所以ASML才是全球芯片業(yè)真正的超級霸主一點都不過分。正因為得益于技術(shù)領(lǐng)先,目前ASML的市場份額也是很大的,目前全球知名芯片廠商包括英特爾、三星、臺積電、SK海力士、聯(lián)電、格芯、中芯國際、華虹宏力、華力微等等全球一線公司都是ASML的客戶。
為何荷蘭能誕生全球最頂尖的光刻機(jī)廠商?
荷蘭的光刻機(jī)技術(shù)強(qiáng)大主要靠ASML,ASML成立于1984年,由飛利浦與先進(jìn)半導(dǎo)體材料國際(ASML)合資成立,總部位于荷蘭的費(fèi)爾德霍芬。1995年,ASML收購了菲利普持有的股份,稱為完全獨立的公司。
阿斯麥公司ASML Holding NV創(chuàng)立于1984年,是從飛利浦獨立出來的一個半導(dǎo)體設(shè)備制造商。前稱ASM Lithography Holding N.V.,于2001年改為現(xiàn)用名,總部位于荷蘭費(fèi)爾德霍芬,全職雇員12,168人,是一家半導(dǎo)體設(shè)備設(shè)計、制造及銷售公司。
簡單介紹一下圖中各設(shè)備的作用:
測量臺、曝光臺:承載硅片的工作臺,也就是雙工作臺。一般的光刻機(jī)需要先測量,再曝光,只需一個工作臺,而ASML有個專利,有兩個工作臺,實現(xiàn)測量與曝光同時進(jìn)行。而本次“光刻機(jī)雙工件臺系統(tǒng)樣機(jī)研發(fā)”項目則是在技術(shù)上突破ASML對雙工件臺系統(tǒng)的技術(shù)壟斷。
激光器:也就是光源,光刻機(jī)核心設(shè)備之一。
光束矯正器:矯正光束入射方向,讓激光束盡量平行。
能量控制器:控制最終照射到硅片上的能量,曝光不足或過足都會嚴(yán)重影響成像質(zhì)量。
光束形狀設(shè)置:設(shè)置光束為圓型、環(huán)型等不同形狀,不同的光束狀態(tài)有不同的光學(xué)特性。
遮光器:在不需要曝光的時候,阻止光束照射到硅片。
能量探測器:檢測光束最終入射能量是否符合曝光要求,并反饋給能量控制器進(jìn)行調(diào)整。
掩模版:一塊在內(nèi)部刻著線路設(shè)計圖的玻璃板,貴的要數(shù)十萬美元。
掩膜臺:承載掩模版運(yùn)動的設(shè)備,運(yùn)動控制精度是nm級的。
物鏡:物鏡由20多塊鏡片組成,主要作用是把掩膜版上的電路圖按比例縮小,再被激光映射的硅片上,并且物鏡還要補(bǔ)償各種光學(xué)誤差。技術(shù)難度就在于物鏡的設(shè)計難度大,精度的要求高。
硅片:用硅晶制成的圓片。硅片有多種尺寸,尺寸越大,產(chǎn)率越高。題外話,由于硅片是圓的,所以需要在硅片上剪一個缺口來確認(rèn)硅片的坐標(biāo)系,根據(jù)缺口的形狀不同分為兩種,分別叫flat、notch。
內(nèi)部封閉框架、減振器:將工作臺與外部環(huán)境隔離,保持水平,減少外界振動干擾,并維持穩(wěn)定的溫度、壓力。
EUV(極紫外光源)光刻機(jī),是生產(chǎn)7nm制程芯片必不可少的設(shè)備,我們熟知的華為麒麟芯片、高通驍龍芯片,三星Exynos芯片的制造都離不開該設(shè)備。可以說沒有EUV光刻機(jī)就生產(chǎn)不出頂級的處理器,如果臺積電不給華為代工,華為就得退出中高端手機(jī)市場!
目前僅有由荷蘭飛利浦公司發(fā)展而來的ASML(阿斯麥)一家可提供可供量產(chǎn)用的EUV光刻機(jī),在全球市場處于絕對壟斷地位。因此ASML對于EUV光刻機(jī)的供貨重要性不言而喻,同時一臺光刻機(jī)的價值不菲,超過一億美元!
關(guān)鍵字: 光刻機(jī)
看過本文的人還看了
熱門推薦
世界最深的八大海溝:馬里亞納海溝是當(dāng)之無愧的第一名
海溝是位于海洋中的兩壁較陡、狹長的、水深大于5000m(如毛里求斯海溝5564m)的溝槽,是海底最深的地方,最大水深可達(dá)到10000米以上(馬里亞納海溝11034m),大都分布于大洋邊緣,目......- 在我們中國,雖然各地娶妻的成本有所差異,但總體的趨勢都是成本越來越高昂,女孩子們的要求也越來越高,房和車似乎成了必不可少的條件。那么世界上其他國家的婚嫁成本如何?......
- 世界之大,無奇不有。世界上存在著很多的國家,每個國家都只有著各自獨特的民族,接下來巴拉排行榜網(wǎng)小編為大家介紹的是世界上生殖器最大的民族,非洲象人族最長56厘米,感興......
- 百家姓是我國廣為流傳的記錄我國姓氏的讀物,而近些年來,一直流傳的百家姓版本是以趙、錢、孫、李為前四排名的版本。目前全國在用姓氏共計6150個,很多的姓氏也是非常有來源的......
- 說到世界上最大的國家,大家的第一印象會是俄羅斯、加拿大和中國。那除了這三個國家外,世界上還有很多國家的國土面積很大,你知道還有哪些國家的面積最大呢?接下來就讓巴拉......
- 在時間的長河中, 曾有許許多多偉大的統(tǒng)治者,他們對國家的貢獻(xiàn)非常大,影響力非常的深遠(yuǎn),一直備受后世敬仰。他們不僅改變了自己的國家,更為世界歷史留下濃墨重彩的一筆,至......
- 經(jīng)常抽的人都知道,中華是國產(chǎn)香煙中的LV,這點毫無爭議,特別是軟中華。中國有好多的香煙品牌,價格從便宜到昂貴,應(yīng)有盡有,對應(yīng)了不同的消費(fèi)人群。今天巴拉排行榜網(wǎng)小編便......
- 云是地球大氣中最重要的部分之一,因為沒有云,就不會有雨和雪。如果你每天觀察天空,就會發(fā)現(xiàn)天空也會有很多變化,例如各種各樣的云。巴拉排行榜網(wǎng)小編帶你們來認(rèn)識一下全球......
- 漢字是中華民族的文化瑰寶,是世界上現(xiàn)存最古老的文字之一。它見證了五千年輝煌燦爛的中華文明,凝聚了豐富深厚的歷史文化,是中華民族源遠(yuǎn)流長、富有生命力的文化載體。那你......
- 貨幣是人們安身立命的根本。貨幣的發(fā)行是一個主權(quán)國家的一部分,大多數(shù)主權(quán)國家都有自己的貨幣。說起最值錢的貨幣,可能大家都會想到英鎊或者美元吧。世界上那么多的國家貨幣......